ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПРОТОКОЛОВ SECS/GEM В РАСПРЕДЕЛЁННЫХ КЛАСТЕРНЫХ СИСТЕМАХ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРОИЗВОДСТВА (2024)
Рассмотрены протоколы автоматизации SECS/GEM международной ассоциации SEMI для интеграции полупроводникового оборудования в общую систему автоматизированного производства и способ сопряжения технологического оборудования разных производителей путём стандартизации процедур обмена сообщениями с использованием протоколов SECS/GEM. Описана коммуникация между интегрированным кластерным оборудованием и центральным компьютером предприятия. Показаны кодирование и упаковка сообщений в SECS-II и HSMS.
Издание:
ЭЛЕКТРОННЫЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ СИСТЕМЫ
Выпуск:
№ 1 (40) (2024)