В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, ионное и плазмохимическое травление наноструктур, атомно-слоевое и плазмохимическое осаждение металлов и диэлектриков. Изложены технологические маршруты
формирования СБИС.
Пособие предназначено для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также может быть использовано при подготовке студентов, обучающихся по направлению 210100 «Электроника и наноэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 222900 «Нанотехнология и микросистемная техника».
Учебное пособие будет полезно при подготовке магистров по программам «Твердотельная электроника» и «Наногетероструктурная СВЧ-электроника».
Эта книга написана одним из ведущих специалистов по нанобиологии и блестящим популяризатором данной науки. Автор знакомит читателя с азами этой области знаний и постепенно подводит его к описанию сложнейших ее проблем.
Ученому удалось написать книгу увлекательно и просто, ее с интересом прочтут биологи и химики, не обладающие специальными знаниями по нанотехнологии. Она будет полезна ученым, а также инженерам и всем желающим узнать больше о технологиях будущего.
Читатели, интересующиеся прикладными аспектами нанобиотехнологии, могут обратиться к глоссарию и списку ведущих компаний, работающих в этой области.
В настоящей книге рассматриваются важнейшие особенности функциональных наноматериалов, включая их структуру, физические свойства, методы синтеза и исследования, описываются примеры использования наноматериалов для создания наноэлектромеханических систем, разнообразных устройств нано- и молекулярной электроники, а также магнитных носителей информации.
Книга является одним из немногих учебных пособий, предназначенных для фундаментальной междисциплинарной подготовки в области нанотехнологии и наноматериалов, включая студентов, аспирантов и научных сотрудников классических, технических и технологических университетов, вовлеченных в решение наиболее актуальных нанотехнологических проблем.
Рекомендовано УМО по классическому университетскому образованию в качестве пособия для студентов старших курсов, обучающихся по специальности 020101 (011000) - Химия.
Монография посвящена наноферроикам - материалам с фазовыми переходами в их наноструктурном состоянии, которые в ближайшем будущем придут на смену ферроикам традиционной дисперсности, широко применяемым в современных электронных устройствах. Обобщены результаты теоретических и экспериментальных исследований наноферроиков. Изложены результаты многолетней работы авторов в области теории размерного эффекта ферроиков, практического эксперимента с наноразмерными частицами и тонкими пленками, а также совре менные достижения мировой науки в этой сфере. Систематизированы данные о строении и свойствах наноферроиков и предсказаны некоторые свойства, отсутствующие в объемных образцах. Описаны методы получения наноструктурных ферроиков в ракурсе конкуренции механизмов зарождения и роста новой фазы.
Для научных и инженерно-технических работников, студентов и аспирантов вузов, а также исследователей, специализирующихся в области физики, химии, механики и материаловедения наноструктурных объектов.
В книге представлены результаты работы научной школы ТГУ по физической химии
молекул с открытыми и закрытыми спин-орбиталями (физической химии парамагнитных и наномагнитных молекул), проведенной в основном в лаборатории исследования структуры и природы дисперсий гомолитов (ЛИСПДГ) Томского государственного университета.
Для специалистов в области физической химии, нефтехимии, физики молекул, физики
взаимодействия между элементарными частицами, физики ядра, для всех интересующихся проблемами естественнонаучного познания.
Подготовлена с целью изучения студентами новейших технологий керамического производства. Представлен обзор состояния получения нанокерамики в мировой практике и в России. Рассмотрено понятие наноструктур, основные способы получения неорганических нанопорошков, свойства синтезируемых на их основе материалов и изделий.
Предназначена для студентов старших курсов всех форм обучения специальности 240304 – химическая технология тугоплавких неметаллических и силикатных материалов всех направлений и специализаций, изучающих дисциплину «Нанотехнологии в керамике», а также аспирантов, бакалавров, магистров и инженеров, работающих в области производства тугоплавких неметаллических материалов.
В последнее время значительное внимание уделяется нанокристаллическим материалам, что вызвано, как минимум, двумя причинами. Во-первых, уменьшение размера кристаллитов – традиционный способ улучшения таких свойств материала, как каталитическая активность, активность в твердофазных реакциях, процессах спекания. Вторая причина – проявление веществом в нанокристаллическом состоянии особых свойств (магнитных, оптических и др.), не характерных для объемных материалов и обусловленных проявлением квантовых эффектов. Поэтому получение и исследование нанокристаллических материалов является важным этапом в создании техники нового поколения.
Пособие содержит основные сведения по метрологическому обеспечению различных технологических операций в сфере наноиндустрии. Рассмотрены становление в XX – XXI вв. и концепции развития нанометрологии. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям – поверке и калибровке сканирующей зондовой микроскопии.
Изложены организационные принципы нанометрологии в России. Приведен перечень вузов, работающих в сфере наноиндустрии, и основные направления их исследований в данной области.
Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих вопросы нанотехнологии, а также может быть полезно инженерно-техническим работникам, связанным с проблемами наноиндустрии
В пособии рассматриваются механизмы деформации, разрушения и изнашивания поверхностных слоев конструкционных материалов в различных условиях нагружения. Показана высокая эффективность их наноструктурирования и нанесения наноструктурных покрытий, что кратно повышает такие важные характеристики как износостойкость, усталостная долговечность, коррозионная стойкость, ресурс работы и надежность высокоответственных конструкций и их сварных соединений. Описаны современные технологии наноструктурирования поверхностных слоев и нанесения наноструктурных покрытий.
Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки бакалавров и магистров 150100 «Материаловедение и технологии материалов».
В пособии особое внимание уделено структуре, свойствам, технологии и применению основных видов наноструктурных материалов конструкционного и функционального назначения. Освещены общие вопросы физики и химии нанопорошков и наноматериалов. Рассмотрены также некоторые виды слоистых наноматериалов и наноструктурированных покрытий. Представлены данные исследований в области кластеров, нанотрубок и наноустройств.
Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 150600 «Материаловедение и технология новых материалов», магистерской программе 150614 «Материаловедение и технологии наноматериалов и покрытий».
