Статья: Неоднородные распределение дефектов и времени жизни при диффузии фосфора в кремний, выращенного методом Чохральского (2018)

Читать онлайн

Методом спада фотопроводимости μ-PCD и селективного травления исследовалось влияние диффузии фосфора на образование кольцевых неоднородностей в распределении микродефектов и времени жизни неосновных носителей заряда в кремниевых образцах. С помощью метода селективного травления показано, что диффузия фосфора с высокой концентрацией приводит к процессу роста кислородных преципитатов, приводящему к возрастанию неравномерности в распределении микродефектов и времени жизни неосновных носителей заряда. Причиной, вызывающей ускоренный рост преципитатов в областях диффузии, является генерация вакансий диффузионным слоем.

The effect of the diffusion of phosphorus on the formation of ring inhomogeneities in the distribution of microdefects and the lifetime of minority charge carriers in silicon samples was studied by the photoconductivity decay μ-PCD and selective etching. Using the method of selective etching, it was shown that the diffusion of phosphorus with a high concentration leads to a process of growth of oxygen precipitates, which leads to an increase in the nonuniformity in the distribution of microdefects and the lifetime of minority charge carriers. The cause that causes the accelerated growth of precipitates in the diffusion regions is the generation of vacancies by the diffusion layer.

Ключевые фразы: время жизни носителей заряда, диффузия фосфора, микродефекты, окисные преципитаты
Автор (ы): Вильдяева Мария Николаевна, Климанов Евгений Алексеевич, Ляликов Алексей Владимирович, Скребнева Полина Станиславовна
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
eLIBRARY ID
35193306
Для цитирования:
ВИЛЬДЯЕВА М. Н., КЛИМАНОВ Е. А., ЛЯЛИКОВ А. В., СКРЕБНЕВА П. С. НЕОДНОРОДНЫЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ДЕФЕКТОВ И ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ ПРИ ДИФФУЗИИ ФОСФОРА В КРЕМНИЙ, ВЫРАЩЕННОГО МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСКОГО // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №3
Текстовый фрагмент статьи