Статья: Емкостные свойства МДП-систем на основе nBn-структуры из МЛЭ HgCdTe (2018)

Читать онлайн

Вольт-фарадные характеристики (ВФХ) МДП-систем на основе nBn-структуры из HgCdTe, выращенной методом молекулярно-лучевой эпитаксии на подложках из GaAs (013), впервые исследованы при разных частотах и температурах. При помощи емкостных измерений найдена концентрация электронов в приповерхностном слое пленки, которая хорошо соответствует концентрации легирующей примеси индия. Показано, что ВФХ МДП-систем имеют высокочастотный вид в широком диапазоне условий измерения, а произведение дифференциального сопротивления области пространственного заряда на площадь электрода в режиме сильной инверсии достигает значения 40 кОм×см2. Обнаружен эффект уменьшения емкости МДП-системы в режиме обогащения после освещения излучением с длиной волны 0,91 мкм, который можно объяснить изменением энергетической диаграммы резкого гетероперехода при изменении зарядового состояния дефектов под действием освещения.

In a wide range of temperatures and frequencies, the capacitance-voltage characteristics of MIS systems based on the HgCdTe nBn structure grown by molecular beam epitaxy on GaAs (013) substrates are for the first time studied. The electron concentration in the near-surface semiconductor layer is determined from capacitive measurements. It is shown that the capacitance-voltage characteristics have a high-frequency behavior in a wide range of conditions, a large differential resistance of the space charge region in strong inversion mode. It is found that the capacitance of the MIS system in the accumulation mode is significantly reduced after exposure to constant illumination. Conditions for recovering the capacitance in accumulation mode are revealed. The results can be explained by the photoinduced change in the charge state of the defects located near the abrupt heterojunction.

Ключевые фразы: HgCdTe, молекулярно-лучевая эпитаксия, nBn-структура, мдп-система, варизонный слой, вольт-фарадная характеристика, концентрация легирующей примеси
Автор (ы): Войцеховский Александр Васильевич, Несмелов Сергей Николаевич, Дзядух Станислав Михайлович, Дворецкий Сергей, Михайлов Николай Николаевич, Сидоров Георгий Юрьевич, Якушев Максим Витальевич
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
621.315.592. Полупроводники
eLIBRARY ID
35653661
Для цитирования:
ВОЙЦЕХОВСКИЙ А. В., НЕСМЕЛОВ С. Н., ДЗЯДУХ С. М., ДВОРЕЦКИЙ С., МИХАЙЛОВ Н. Н., СИДОРОВ Г. Ю., ЯКУШЕВ М. В. ЕМКОСТНЫЕ СВОЙСТВА МДП-СИСТЕМ НА ОСНОВЕ NBN-СТРУКТУРЫ ИЗ МЛЭ HGCDTE // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2018. №4
Текстовый фрагмент статьи