Статья: РАЗДЕЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ И ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОНИКИ НА ОТДЕЛЬНЫЕ КРИСТАЛЛЫ (2025)

Читать онлайн

Рассмотрены особенности монокристаллических и поликристаллических материалов электроники, накладывающие ограничения на выбор технологии разделения пластин из таких материалов на отдельные кристаллы. Выполнен анализ различных технологий разделения монокристаллических пластин на кристаллы и обозначены области их применения с учетом обрабатываемого материала, глубины нарушенного слоя и геометрии обрабатываемой поверхности. Определены ограничения на традиционные и современные способы разделения пластин из различных материалов электроники на отдельные кристаллы.

Ключевые фразы: монокристалл, поликристалл, технологический процесс, скрайбирование, разламывание, РЕЗАНИЕ
Автор (ы): Войтенко Галина Олеговна
Журнал: РЕСУРСОСБЕРЕГАЮЩИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА И ОБРАБОТКИ ДАВЛЕНИЕМ МАТЕРИАЛОВ В МАШИНОСТРОЕНИИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Материаловедение
УДК
621.91. Обработка резанием
Для цитирования:
ВОЙТЕНКО Г. О. РАЗДЕЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ И ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОНИКИ НА ОТДЕЛЬНЫЕ КРИСТАЛЛЫ // РЕСУРСОСБЕРЕГАЮЩИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА И ОБРАБОТКИ ДАВЛЕНИЕМ МАТЕРИАЛОВ В МАШИНОСТРОЕНИИ. 2025. № 2 (47)
Текстовый фрагмент статьи