Статья: Электропроводность композитных пленок карбид кремния-алмаз, синтезированных в СВЧ-разряде в смесях метан-силан-водород (2020)

Читать онлайн

Осаждением в СВЧ-плазме (2,45 ГГц) в смеси метан-силан-водород на подложках кремния и монокристаллического алмаза синтезированы композитные пленки алмазкарбид кремния кубического политипа (3C-SiC). Структура и фазовый состав пленок проанализированы методами сканирующей электронной микроскопии и комбинационного рассеяния света. Удельное сопротивление пленок  при температуре T = 340 К составило (0,8−6)10-2 Омсм. Температурные зависимости (T), измеренные в диапазоне 300−460 К, свидетельствуют о полупроводниковом характере электропроводности композитного материала, с энергией активации 0,09–0,20 эВ. Подобные композиты, состоящие из двух широкозонных полупроводников с отличными электронными свойствами и высокой теплопроводностью, потенциально могут быть интересными для применений в электронике.

Composite films diamond-silicon carbide of cubic polytype (3C-SiC) have been deposited by microwave plasma (2.45 GHz) chemical vapor deposition CVD in methane-silane-hydrogen mixtures on Si and single crystal diamond substrates. The structure and phase composition of the films were characterized by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy. Resistivity  of the films is found to lie in the range of (0.8–6)10-2 Ohmcm at temperature T = 340 K. The temperature dependences (T), as measured in the range of 300–460 K, reveal semiconducting nature of conductivity of the composite material with activation energy of 0.09– 0.20 eV. Potentially, the composites consisting of two wide-band-gap semiconductors with excellent electronic properties and very high thermal conductivity, such as diamond and SiC, could be the interesting material for electronic applications.

Ключевые фразы: карбид кремния, алмаз, химическое осаждение из газовой фазы, свч- плазма, электропроводность, комбинационное рассеяние света
Автор (ы): Мартьянов Артем Константинович, Седов Вадим Станиславович, Попович Алексей Фёдорович, Савин Сергей Сергеевич, Хомич Андрей Александрович, Ральченко Виктор Григорьевич, Конов Виталий Иванович
Журнал: ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
538.956. диэлектрические
621.793.162. с помощью химических реакций. Эпитаксиальные пленки
eLIBRARY ID
44185824
Для цитирования:
МАРТЬЯНОВ А. К., СЕДОВ В. С., ПОПОВИЧ А. Ф., САВИН С. С., ХОМИЧ А. А., РАЛЬЧЕНКО В. Г., КОНОВ В. И. ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ КОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК КАРБИД КРЕМНИЯ-АЛМАЗ, СИНТЕЗИРОВАННЫХ В СВЧ-РАЗРЯДЕ В СМЕСЯХ МЕТАН-СИЛАН-ВОДОРОД // ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА. 2020. № 5
Текстовый фрагмент статьи