Статья: Влияние кислородных преципитатов на темновой ток кремниевых фотодиодов

Проведено сравнение распределений темновых токов, времени жизни неосновных носителей заряда и микродефектов, выявляемых селективным травлением. Показано, что основной причиной повышенных темновых токов и пониженной фото-чувствительности в кремниевых фотодиодах, изготовленных на кремнии n-типа, изготовленным методом Чохральского, являются генерационно-рекомбинационные процессы на мелких окисных преципитатах.

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Загрузил(а)
Лицензия
Доступ
Всем
Просмотров
7

Информация о статье

ISSN
2307-4469
EISSN
2949-5636
Префикс DOI
10.51368/2307-4469-2023-11-6-511-514
Журнал
Успехи прикладной физики
Год публикации
2023
Автор(ы)
Вильдяева М. Н., Демидов С. С., Демидова Ю. С., Климанов Е. А., Хлызова У. Д., Скребнева П. С.