Статья: Электронно-лучевое осаждение покрытий из циркониевой керамики форвакуумным плазменным источником электронов

Представлены результаты эксперимента по электронно-лучевому осаждению керамических покрытий оксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия с использованием форвакуумного плазменного источника электронов. Методом растровой электронной микроскопии получены данные о морфологии и элементном анализе поверхности покрытий. Структурно-фазовый состав образцов выявил наличие кристаллической структуры синтезированных покрытий с содержанием моноклинной и тетрагональной фаз. Методом Оливера-Фарра получены значения твердости и моду-ля упругости покрытий.

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Загрузил(а)
Лицензия
Доступ
Всем
Просмотров
1

Информация о статье

ISSN
1996-0948
EISSN
2949-561X
Префикс DOI
10.51368/1996-0948-2023-5-91-96
Журнал
Прикладная физика
Год публикации
2023
Автор(ы)
Андронов А. А., Золотухин Д. Б., Назаров А. Ю., Окс Е., Рамазанов К. Н., Тюньков А. В., Юшков Ю. Г.
Каталог SCI
Физика