Статья: Электронная томография атомных и молекулярных пучков в молекулярно-лучевой эпитаксии

Представлен конструктивно простой и достаточно универсальный метод определения интенсивностей атомных и молекулярных пучков, основанный на регистрации величины малоуглового рассеяния электронов, возникающих при взаимодействии узкого электронного луча с атомами испаряемого вещества.

Информация о документе

Формат документа
PDF
Кол-во страниц
1 страница
Лицензия
Доступ
Всем
Просмотров
7

Предпросмотр документа

Информация о статье

ISSN
1996-0948
EISSN
2949-561X
Журнал
Прикладная физика
Год публикации
2020
Автор(ы)
Кульчицкий Н. А., Дирочка А. И.
Каталог SCI
Физика