Автор
        
        
                Работы
            
            
            
                Базиненков А. М.                                    
                                                    
                            
        
                                
                                    Область научных публикаций:                                
                                
                                    ионная обработка, тонкие плёнки, вакуум                                
                            
                                                    
                                
                                    ResearcherID:                                
                                
                                    999-9-                                
                            
                                            
                Иванова Д. А.                                    
                                                    
                            
        
                                
                                    Область научных публикаций:                                
                                
                                    ионная обработка, тонкие плёнки, вакуум                                
                            
                                                    
                                
                                    ResearcherID:                                
                                
                                    999-9-                                
                            
                                            
                Купцов Алексей Дмитриевич                                    
                                                    
                            
        
                                
                                    Область научных публикаций:                                
                                
                                    ионная обработка, тонкие плёнки, вакуум                                
                            
                                                    
                                
                                    SPIN-код:                                
                                
                                    1102-5052                                
                            
                                                    
                                
                                    РИНЦ Author ID:                                
                                
                                    1123959                                
                            
                                            
                Сидорова С. В.                                    
                                                    
                            
        
                                
                                    Область научных публикаций:                                
                                
                                    ионная обработка, тонкие плёнки, вакуум                                
                            
                                                    
                                
                                    ResearcherID:                                
                                
                                    999-9-                                
                            
                                            
                Щербакова В. С.                                    
                                                    
                            
        
                                
                                    Область научных публикаций:                                
                                
                                    ионная обработка, тонкие плёнки, вакуум                                
                            
                                                    
                                
                                    ResearcherID:                                
                                
                                    999-9-                                
                            
                                            



