Статья: Исследование дефектов матричных фотоприемных устройств методами электронной микроскопии (2019)

Читать онлайн

Методами растровой электронной микроскопии проведены исследования матриц фоточувствительных элементов и мультиплексоров, используемых для изготовления инфракрасных матричных фотоприемных устройств, после нанесения на них индиевых микроконтактов. Контакты формировались двумя различными способами: классическим и экспериментальным (с одним «взрывом»). Исследования позволили выявить различные типы дефектов и причины их возникновения. Проведено сравнение двух способов изготовления микроконтактов с целью определения оптимального для повышения процента выхода годных фотоприемных устройств.

We used scanning electron microscopy for investigation of indium microcontacts quality before FPA and ROIC hybridization. Two different technologies of microcontacts formation using one and two indium explosives were analyzed. Conclusions about different technologies efficiency were made from snapshots of different defects in indium microcontacts and displacements of microcontacts position relatively to elements in photosensitive arrays. Also we analyzed reasons of defects occurrence. Optimal technology was determined. This research helps us to improve the technology of FPA development and to increase passthrough yield of FPAs.

Ключевые фразы: электронная микроскопия, матрица фоточувствительных элементов, мультиплексор, индиевый микроконтакт, матричное фотоприемное устройство, фотолитография
Автор (ы): Арич Олеся Дмитриевна, Климанов Евгений Алексеевич, Гончаров Валерий Евгеньевич, Можаева Мария Олеговна, Малыгин Владислав Анатольевич
Журнал: УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ

Предпросмотр статьи

Идентификаторы и классификаторы

SCI
Физика
УДК
620.187. Электронно-микроскопические методы исследования
eLIBRARY ID
41264555
Для цитирования:
АРИЧ О. Д., КЛИМАНОВ Е. А., ГОНЧАРОВ В. Е., МОЖАЕВА М. О., МАЛЫГИН В. А. ИССЛЕДОВАНИЕ ДЕФЕКТОВ МАТРИЧНЫХ ФОТОПРИЕМНЫХ УСТРОЙСТВ МЕТОДАМИ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ // УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ. 2019. ТОМ 7, №5
Текстовый фрагмент статьи