Название инновационного проекта: | Эмиссионный акустооптический спектрометр для актинометрических измерений кинетических параметров плазмохимических реакций в ВЧ-разряде «Микрохрон» |
Область применения: | Нанотехнологии |
Аннотация: | Предложен АО спектрометр, реализующий метод эмиссионных актинометрических измерений кинетических параметров плазмохимических реакций, включая кинетический порядок, константы скорости гетерогенной гибели химически активных частиц и характерное время их жизни. Основу метода составляют акустооптическая спектроскопия с временным разрешением ( 1 мкс) и модуляция мощности разряда гребенкой коротких зондирующих импульсов в фазе послесвечения. Кинетические кривые накопления и аннигиляции активных частиц в этой фазе получаются из микродинамики измеряемых пиков спектральных линий подобранных актинометрических пар. Автоматизированные с помощью микроЭВМ PC/AT-486 измерения проводятся на 4 - 9 длинах волн, включая пики спектральных линий и фоновые подставки при них, электронно-перестраиваемых в последовательно-параллельном режиме. Длительность одного цикла из 100 повторных измерений на четырех длинах волн с разрешением по времени 25 мкс составляет не более 50 с. Значения кинетических параметров получаются из анализа логарифмированной кинетической кривой аннигиляции частиц. |
Объект интеллектуальной собственности: | ноу-хау |
Автор/разработчик: | ЗАО фирма «Сигма-Оптик ЛТД». |
Стадия освоения разработки: | мелкосерийное производство |
Охранные документы: | Заявка на патент |
Формы сотрудничества: | внедрение новой технологии |
Название предприятия: | "Сигма-Оптик ЛТД", ЗАО |
Статус: | юридическое лицо |
Адрес: | 124460 Москва, г. Зеленоград, корп. 1212-123 |
Телефон: | +7 (495) 535-93-00 |
Факс: | +7 (495) 535-91-71 |
E-mail: | a-optic@vniiftri.ru |
Адрес Web: | www.sigma-optic.ru |
ФИО руководителя предприятия: | Магомедов Зайнутдин Абдулкадырович |
Контактное лицо: | Тябликов Александр Валентинович (495) 535-93-00 |
Регион: | Москва, Зеленоградский округ |