Определение толщины матриц ФЧЭ из антимонида индия по ИК-спектрам отражения (2019)
Рассмотрен метод определения толщин тонких матриц на основе ИК-спектров отражения. Исследована статистика распределения толщины матриц ФЧЭ из антимонида индия формата 640 512 элементов с шагом 15 мкм, утоньшенных методом химико-динамической полировки. Показана динамика улучшения технологии утоньшения МФЧЭ.
Издание:
ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА
Выпуск:
№6 (2019)